產(chǎn)品展示
含氟氣體生產(chǎn)裝置
ST9000 BSGS可適應(yīng)ISOs，tube trailers，Y-cylinders，drums, cylinder packs等各種氣源的供給方式，基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)）。
性能介紹
ST9000 BSGS可適應(yīng)ISOs，tube trailers，Y-cylinders，drums, cylinder packs等各種氣源的供給方式，基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)）。ST9000 BSGS采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面，通過(guò)設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、溫控等裝置，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局、調(diào)壓閥J-T效應(yīng)加熱器等，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)特殊氣體連續(xù)大流量供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。